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第626章 难道没有国外的技术,我们就造不出EUV光刻机吗?

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几人越聊越投入,当即围着图纸和电脑忙碌了起来。

汪象朝负责调整光路模拟参数,林南则带领几人核算镜片曲率与像差的对应关系,剩下的研发人员也连忙压下此前的负面情绪,将精力快速投入到各自的工作中。

……

……

次日一早,陈延森给陶静文打去电话,借助孟远志的关系,拿到了一张庐州科大的通行证,可自由进出光电实验室。

镜面抛光和镀膜工艺,都得在实验中不断完善,才能找到优化方向。

光靠理论推算,是得不出结果的。

同一时间,林南也抽调了一批擅长超精密抛光技术的研发人员,派往庐州。

当刘峰俊等人进入庐州科大的光电实验室时,刚好看见正在更换洁净服、佩戴无尘乳胶手套和无尘口罩的陈延森。

他不是森联资本的创始人吗?

为什么会在实验室里?

“刘先生,幸会!”陈延森停下手中的动作,径直朝刘峰俊走去,随即伸出右手说道。

“陈先生,您好。”刘峰俊虽然有一肚子的疑问,但他也不好直接发问。

他是国防科大超精密加工团队的高阶研究员,博士学历,智力不俗。

有这样的素养,就注定他不会说出低情商的话。

“实验室刚调试完离子束抛光机,正好你们来了,一起看看参数。”

陈延森收回右手,指向旁边的操作屏,上面跳动着密密麻麻的数据流,随后接着说道:“你们在沪城制作的镜面粗胚我看过了,硅基材质纯度够,初始面形误差还有3纳米,得先过磁流变抛光做预处理。”

刘峰俊瞳孔微缩,心中巨震。

他下意识走到操作屏前,目光落在磁流变抛光的预处理参数上。

令他顿感惊讶的是,屏幕上不仅清晰列出了不同转速下研磨液的颗粒度配比、磁场强度梯度曲线,甚至还标注了“预处理后误差需控制在500皮米内”的明确节点。

“陈先生,您提前算过硅基材料的应力释放曲线?”

刘峰俊忍不住地追问道。

要知道,硅基镜面在研磨过程中会因应力积累产生微小形变,这是超精密加工领域最棘手的难题,也是国内各大高校、研究所迟迟未能突破的技术障碍。

如今,竟在这里见到了解决方案。

他在该领域浸淫多年,正因为他懂,才知道这组参数背后藏着多少巧思。


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