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第610章 国产光刻机的研发进程,至少缩短了十年!

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会,谁也不愿错过。

李青松的决议下达后,全国范围内的科研资源开始向星源科技汇聚。

三天后,来自沪城光学精密机械研究所、华科协会沈阳自动化所、国防科大等协会的87名专家陆续抵达庐州。

既有汪象朝这样深耕EUV领域数十年的行业泰斗,也有在双工件台、调平调焦系统研发中崭露头角的青年骨干。

就连华卓精科所掌握的65纳米制程双工件台技术,都被送去了沪城。



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