5微米(350纳米)。
随着第一部PAS5500被IBM购买,用于System/390服务器的芯片制造,在ystem/390热卖以及证明了PAS5500的稳定性,以及有着低成本,小尺寸,简单易用等特点以后,来自全世界各地大量的订单开始把ASML淹没。
而且这个一代神机直到二十年以后赵长安穿越过来的时候,在长达三十多年的时间里,虽然PAS5500早已停止生产,可经过ASML卖出去的PAS5500依然有超过90%的光刻机在投入使用,用于制造线宽微缩要求不高细分类半导体芯片。
之后数年,随着ASML不断的对PAS5500进行技术改良和升级,引入更高分辨率的i-line、氟化氪(KrF)和氟化氩(ArF)系统,老东家飞利浦也是赚钱赚的合不拢嘴。
在97年的时候,由飞利浦的牵线,以及欧美半导体产业迫切想要摆脱东洋半导体产业的依赖,老美也盯上了ASML这块肥肉,随着众多企业投资加入,以及成功的在阿姆斯特丹和哥谭市证券交易所上市,ASML开始研究极紫外线,到了99年ASML极紫外线光刻机研发联盟成立,第二年财大气粗的ASML收购了美国光刻机制造商硅谷集团(SVG),在原来的拳头产品PAS5500之外,进入更细微的193纳米领域。
在去年年底的全球SPIE微光刻会议上,由于Nikon和Canon的强势,157nm深紫外激光波(DUV)步进式光刻机的研发主流方向,依然是处于纯氮气中的技术改良。
而没有提倡尝试157nm深紫外激光波,在液体浸没状态下的浸没式光刻技术。
从会议之后到现在,整个ASML的研发部门,依然是各种争吵中,对于157nm浸没式研发是否开始,有着极大的分歧。
“目前的问题是,如果选用157nm纯氮气环境中的研发,这个方向Nikon和Canon已经投资了几十亿美元,进行了几年的研发,手里面也持有大量的专利。即使最后进行大量的投资,制造出来,怎么和他们竞争?就算可以竞争,然而有着一些绕不过去的专利壁垒,难道还需要从他们手里面高价购买专利许可。”
萧扬明摇头对赵长安说道:“我的合同将于今年七月到期,不管ASML有没有和我续签的意向,我已经决定了离开。这一两个月的争吵,根本就看不到任何成功的希望,在我看来,这个ASML最终只会沦为美国想要重新获得世界
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