正全神贯注地进行操作,双手稳定、动作标准、节奏均匀,眼睛紧盯设备屏幕,没有因为身后站着三位监督者而出现一丝慌乱。
金俊勇没有说话,微微弯腰,目光如同探照灯,死死盯着操作工的每一个动作:取放晶圆的角度、手臂移动的轨迹、按键的顺序、确认的步骤、记录的方式……
一个动作、一个动作地核对。
一个细节、一个细节地审视。
查瓦迪则直接走到设备操作屏前,抬手对着操作工示意了一下,语气平淡却不容拒绝:“调出实时工艺参数,最近三十分钟运行曲线。”
操作工没有抬头,没有慌乱,严格按照SOP流程,点击屏幕,调出参数页面。
屏幕上,蚀刻温度、蚀刻时间、气体流量、压力值、功率值……所有参数一目了然,曲线平稳如一条直线,波动范围微乎其微,远低于合同约定的允许范围。
查瓦迪指尖在平板上快速敲击,对照着韩方、欧洲、东南亚三方标准,逐一核对。
一项、两项、三项……
十项、二十项、三十项……
所有参数,全部达标,无一超标。
安德森则走到工位旁的批次追溯码前,拿出手机扫码,屏幕上立刻弹出完整信息:晶圆批次、上料时间、操作人员、设备编号、工艺版本、上一工序检测结果、本工序设定标准……
全流程可追溯,一物一码,清晰透明。
他对照着合规清单,一一打钩,没有一项不符合要求。
气氛压抑到了极点。
老郑站在不远处,拳头紧紧攥着,手心全是汗。
他知道,这一关只要稳住,就能扛过去。
可只要有一项不达标、一个动作不规范、一组数据对不上,今天所有人的努力,都会瞬间归零。
金俊勇盯着操作工足足三分钟,没有发现任何一个违规动作。
他直起身,目光转向旁边的品质巡检记录表,伸手示意:“记录本。”
现场巡检员立刻递上纸质记录本与电子台账。
金俊勇一页一页翻看,时间、温度、压力、巡检人、异常记录、处理结果……每一页都填写完整、字迹工整、数据一致,没有涂改、没有空缺、没有遗漏。
连续翻看二十页,零异常、零报警、零失误。
金俊勇脸色依旧没有变化,可眼神里的审视意味,却悄悄减弱了一分。
他转身,对着查瓦迪和安德
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