越往里走,越是震撼。
曾经空旷的厂房,如今已经被密密麻麻的工艺管线、桥架、风管、水管填满。天花板上,各类管道清晰:
- 蓝色——压缩空气
- 绿色——冷却水
- 红色——消防水
- 黄色——真空
- 白色——一般排风
- 棕色——工艺排气
地面是高强度防静电环氧自流平,光亮整洁,一尘不染。
墙面是洁净板,拼接严密,没有一丝缝隙。
所有转角圆弧处理,所有灯具密封防尘,所有风口均匀出风。
这是标准到苛刻的功率半导体芯片生产环境。
张诚一路走,一路看,眼神锐利,不漏掉任何一个细节。
“洁净室压差?”
“全部稳定,核心区正压控制合格,防止外界污染进入。”
“温湿度?”
“22℃±1℃,湿度45%~55%,24小时稳定。”
“微振控制?”
“地基隔振、设备隔振、结构隔振三重措施,符合芯片生产要求。”
“供电可靠性?”
“双回路+UPS+应急柴发,断电零切换,保障设备不停机。”
张诚停在中央控制室前。
巨大的屏幕墙上,显示着整个园区的电力、用水、用气、温湿度、压差、消防、安防、设备运行状态。所有数据实时跳动,绿色正常,黄色预警,红色报警,一目了然。
“全部自动化控制?”
“是,张总。24小时值守,异常自动报警、自动记录、自动联动。”
张诚微微点头。
这才是他想要的芯片厂房——
不是面子工程,不是噱头,不是资本故事。
是真正能稳定生产、长期运行、安全可靠的实业重资产。
他走到还空着的工艺设备摆放区域。
地面上已经用墨线标出了每一台设备的位置:
- 外延炉
- 光刻机
- 刻蚀机
- 离子注入机
- 薄膜沉积设备
- 氧化扩散炉
- 清洗机
- 检测探针台
- 划片机、键合机、封装设备
一行行,一列列,整齐划一。
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